美國Setra超高純壓力變送器美國西特225

所屬分類：美國西特
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產(chǎn)品詳情

Setra GCT-225 系列超高純壓力變送器專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體工藝過程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工作、高吞吐量和超高長期穩(wěn)定性的控制應(yīng)用。

GCT-225 系列采用可旋轉(zhuǎn)的外罩結(jié)構(gòu)，用戶可方便地調(diào)節(jié)用于零點(diǎn)和量程微調(diào)的12 圈電位計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)外螺紋/ 內(nèi)螺紋端面密封壓力接口可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的要求。此外，該系列產(chǎn)品還選用多種其他接口類型。GCT-225

系列產(chǎn)品提供5 VDC、10 VDC 或4-20 mA 三種輸出類型，可使用六英尺多芯電纜及卡口、D-Sub 或M12x1 接頭進(jìn)行電氣連接。

GCT-225 系列壓力變送器采用Setra 可變電容技術(shù)，配有VIM/ VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時，隔膜會變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測到電容變化，并將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號。Setra 獨(dú)特的定制集成電路采用專利的電荷平衡原理制成，幾乎不受EMI/RFI 干擾。

在制造和裝配完成后，Setra 超高純壓力變送器還要接受去離子水沖洗、高純熱氮?dú)獯祾摺⒑娓伞㈦p層包裝、氮?dú)獬渥⒑兔芊獾忍幚恚詈蟛虐l(fā)貨。

注：Setra 的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)ANSI-Z540 制定的。該產(chǎn)品的標(biāo)定具有NIST 可追蹤性，美國專利號。

■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI

特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
·堅(jiān)固耐用，無故障安裝
·4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證，適用于潛在危險區(qū)域
·符合CE 和RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求

規(guī)格

性能參數(shù)			物理參數(shù)			電氣參數(shù)(電壓)
精度RSS¹(恒溫下)		±0.25%FS	殼體	不銹鋼		電路	3線(COM,OUT,EXC)
非線性(最佳擬合直線)		±0.15%FS	電氣連接	6英尺/1.8米多芯電纜,4 針頭卡口接頭		輸出⁴	0～5VDC或0.2～5.2VDC⁵ 0～10VDC或0.2～10.2VDC⁵
遲滯		0.20%FS
溫度影響²			壓力接口	#4外螺紋/內(nèi)螺紋端面密封旋轉(zhuǎn)接頭,1/4NOT外螺紋接頭或管接頭		激勵	5VFSO(滿量程輸出)時為10～30VDC 10VFSO(滿量程輸出)時為13-30VDC
溫度補(bǔ)償范圍	-9～65℃
零點(diǎn)/滿程漂移	1.8%(%FS/50℃)					輸出電阻	10Ω
暖機(jī)(預(yù)熱)偏移	總計(jì)為0.1%FS		通氣	通過外殼		段及偏移	總誤差±0.1%FS
泄漏試驗(yàn);使用質(zhì)譜儀進(jìn)行1×10^-9ATM .CC/sec級別的氨滲漏試驗(yàn)			內(nèi)腔體積	0.11in³		功耗	0.03W
			接液部件	VIM/VAR316L不銹鋼,電解拋光至7Ra(最大10Ra)		電氣參數(shù)(電流)
壓力介質(zhì)						電路		2線
與316L不銹鋼兼容的液體或氣體			重量	約113g		輸出⁶		4～20mA⁷
認(rèn)證			環(huán)境參數(shù)			外部負(fù)載		0-800Ω
不易燃認(rèn)證;適用于潛在危險區(qū)域的認(rèn)證;			工作溫度³		-40℃+85℃	最小供電電壓(VDC)		10+0.02x(接收器附加導(dǎo)線電阻)
			存放溫度		-40℃+85℃
北美;可選ETL認(rèn)證,適用于ANSI/ISA -12.2.01-2011標(biāo)準(zhǔn)中列出的1類2區(qū) A.B.C.D組成危險區(qū)域(選擇N1選項(xiàng))			電流輸出型(訂購N1選項(xiàng)時)		-30℃+80℃ (工作/儲存溫度)	最大供電電壓(VDC)		30+0.004x(接收器附加導(dǎo)線電阻)
						功耗		﹤0.9W
歐洲;可選用于標(biāo)準(zhǔn)EN60079-0;2012的ATEX94/9/CE2區(qū)認(rèn)證或EN60079-15;2010 11 3G EX nA llC T4 Gc-30℃﹤Ta﹤+80℃認(rèn)證 (選擇N1選項(xiàng))

1. 非線性、遲滯、非重復(fù)性的RSS值(方和根)

2. 產(chǎn)品在21℃進(jìn)行標(biāo)定,最大溫度影響誤差由此書記計(jì)算.

3. 僅限電子元件的工作溫度限制,壓力介質(zhì)的溫度可能明顯較高或較低。

4. 采用50KΩ負(fù)載進(jìn)行標(biāo)定,可在負(fù)數(shù)≥5KΩ時工作

5. 零點(diǎn)(滿量程)輸出：對于5VDC電源,出廠設(shè)置在±25mV以內(nèi);對于10VDC電源,出廠設(shè)置在±50mV以內(nèi)

6. 出廠標(biāo)定時采用250Ω負(fù)載,24VDC電源。

7. 零點(diǎn)輸出的出廠設(shè)置在±0.08mA以內(nèi),滿量程輸出的出廠設(shè)置在±0.16mA以內(nèi)。